1. Definisi Sistem Gas Massal:
Penyimpanan dan pengendalian tekanan gas inert. Jenis gas: Gas inert umum (nitrogen, argon, udara terkompresi, dll.)
Ukuran pipa: Dari 1/4 inci (pipa pemantauan) hingga pipa utama 12 inci
Produk utama dari sistem ini adalah: katup diafragma/katup bellow/katup bola, konektor kemurnian tinggi (VCR, bentuk pengelasan), konektor ferrule, katup pengatur tekanan, pengukur tekanan, dll.
Saat ini, sistem baru tersebut juga mencakup sistem gas khusus dalam jumlah besar, yang menggunakan tabung gas tetap atau truk tangki untuk penyimpanan dan pengangkutan.
2. Definisi Sistem Pemurnian:
Penghilangan pengotor dari gas curah untuk saluran pipa gas dengan kemurnian tinggi.
3. Definisi Kabinet Gas:
Menyediakan kontrol tekanan dan pemantauan aliran untuk sumber gas khusus (gas beracun, mudah terbakar, reaktif, korosif), dan memiliki kemampuan untuk mengganti tabung gas.
Lokasi: Terletak di lantai sub-fabrikasi atau lantai dasar untuk penyimpanan gas khusus. Sumber: NF3, SF6, WF6, dll.
Ukuran pipa: Pipa gas internal, umumnya 1/4 inci untuk pipa proses, 1/4-3/8 inci terutama untuk pipa pembersihan nitrogen dengan kemurnian tinggi.
Produk utama: Katup diafragma kemurnian tinggi, katup searah, pengukur tekanan, konektor kemurnian tinggi (VCR, bentuk pengelasan). Kabinet gas ini pada dasarnya memiliki kemampuan pengalihan otomatis untuk silinder guna memastikan pasokan gas yang berkelanjutan dan penggantian silinder yang aman.
4. Definisi Distribusi:
Menghubungkan sumber gas ke koil pengumpul gas
Ukuran pipa: Di pabrik chip, ukuran pipa distribusi gas curah umumnya berkisar antara 1/2 inci hingga 2 inci.
Bentuk sambungan: Pipa gas khusus umumnya disambung dengan pengelasan, tanpa sambungan mekanis atau bagian bergerak lainnya, terutama karena sambungan pengelasan memiliki keandalan penyegelan yang kuat.
Di pabrik chip, terdapat ratusan kilometer pipa yang terhubung untuk mengalirkan gas, yang pada dasarnya memiliki panjang sekitar 20 kaki dan dilas menjadi satu. Beberapa tikungan pipa dan sambungan las pipa juga sangat umum.
5. Definisi Kotak Katup Multifungsi (Valve Manifold Box, VMB):
Fungsinya adalah untuk mendistribusikan gas khusus dari sumber gas ke berbagai peralatan yang ada.
Ukuran pipa internal: pipa proses 1/4 inci, dan pipa pembuangan 1/4 - 3/8 inci. Sistem ini dapat menggunakan kontrol komputer yang memerlukan katup otomatis atau situasi dengan biaya lebih rendah dengan katup manual.
Produk sistem: katup diafragma/katup bellow kemurnian tinggi, katup searah, sambungan kemurnian tinggi (VCR, bentuk pengelasan mikro), katup pengatur tekanan, pengukur tekanan, dan lain-lain. Untuk distribusi beberapa gas inert, terutama digunakan Valve Manifold Panel - VMP (cakram katup multifungsi), yang memiliki permukaan cakram gas terbuka dan tidak memerlukan desain ruang tertutup dan pembersihan nitrogen tambahan.
6. Definisi pelat/kotak katup sekunder (Panel Sambungan Alat):
Hubungkan gas yang dibutuhkan oleh peralatan semikonduktor dari sumber gas ke ujung peralatan dan berikan pengaturan tekanan yang sesuai. Panel ini adalah sistem kontrol gas yang lebih dekat ke ujung peralatan daripada VMB (kotak katup multifungsi).
Ukuran pipa gas: 1/4 - 3/8 inci
Ukuran pipa cairan: 1/2 - 1 inci
Ukuran pipa pembuangan: 1/2 - 1 inci
Produk utama: katup diafragma/katup bellow, katup satu arah, katup pengatur tekanan, pengukur tekanan, sambungan kemurnian tinggi (VCR, pengelasan mikro), sambungan ferrule, katup bola, selang, dll.
Waktu posting: 22 November 2024