As semikonduktordan teknologi mikroelektronik berkembang menuju kinerja yang lebih tinggi dan integrasi yang lebih tinggi, persyaratan yang lebih tinggi ditempatkan pada kemurnian gas khusus elektronik. Teknologi perpipaan gas dengan kemurnian tinggi merupakan bagian penting dari sistem pasokan gas dengan kemurnian tinggi. Ini adalah teknologi utama untuk menyalurkan gas dengan kemurnian tinggi yang memenuhi persyaratan ke titik penggunaan gas dengan tetap menjaga kualitas yang memenuhi syarat.
Teknologi perpipaan dengan kemurnian tinggi mencakup desain sistem yang benar, pemilihan alat kelengkapan pipa dan bahan pembantu, konstruksi dan pemasangan serta pengujian.
01Konsep umum perpipaan transmisi gas
Semua gas dengan kemurnian tinggi dan kebersihan tinggi perlu diangkut ke titik gas terminal melalui pipa. Untuk memenuhi persyaratan kualitas proses gas, ketika indeks ekspor gas sudah pasti, perlu lebih memperhatikan pemilihan material dan kualitas konstruksi sistem perpipaan. Selain keakuratan peralatan produksi atau pemurnian gas, hal ini sangat dipengaruhi oleh banyak faktor pada sistem perpipaan. Oleh karena itu, pemilihan pipa harus mematuhi prinsip-prinsip industri pemurnian yang relevan dan menandai bahan pipa pada gambar.
02Pentingnya jaringan pipa dengan kemurnian tinggi dalam transportasi gas
Pentingnya jaringan pipa dengan kemurnian tinggi dalam transportasi gas dengan kemurnian tinggi Selama proses peleburan baja tahan karat, setiap ton dapat menyerap sekitar 200g gas. Setelah baja tahan karat diolah, tidak hanya berbagai polutan yang menempel di permukaannya, tetapi juga sejumlah gas terserap ke dalam kisi logamnya. Ketika ada aliran udara yang melewati pipa, sebagian gas yang diserap oleh logam akan masuk kembali ke aliran udara dan mencemari gas murni.
Ketika aliran udara di dalam pipa terputus-putus, pipa membentuk tekanan adsorpsi pada gas yang melewatinya. Ketika aliran udara berhenti lewat, gas yang diserap oleh pipa membentuk analisis pengurangan tekanan, dan gas yang dianalisis juga memasuki gas murni di dalam pipa sebagai pengotor.
Pada saat yang sama, siklus adsorpsi dan analisis akan menyebabkan logam pada permukaan bagian dalam pipa menghasilkan sejumlah bubuk. Partikel debu logam ini juga mencemari gas murni di dalam pipa. Karakteristik pipa ini sangat penting. Untuk menjamin kemurnian gas yang diangkut, permukaan bagian dalam pipa tidak hanya harus memiliki kehalusan yang sangat tinggi, tetapi juga harus memiliki ketahanan aus yang tinggi.
Jika gas memiliki sifat korosif yang kuat, pipa baja tahan karat yang tahan korosi harus digunakan untuk pemipaan. Jika tidak, bintik-bintik korosi akan muncul di permukaan bagian dalam pipa akibat korosi. Dalam kasus yang parah, potongan logam berukuran besar akan terkelupas atau bahkan berlubang, sehingga mencemari gas murni yang diangkut.
03Bahan pipa
Pemilihan material pipa perlu dipilih sesuai dengan kebutuhan penggunaan. Kualitas pipa umumnya diukur berdasarkan kekasaran permukaan bagian dalam pipa. Semakin rendah kekasarannya, semakin kecil kemungkinannya untuk membawa partikel. Umumnya dibagi menjadi tiga jenis:
Salah satunya adalahPipa kelas EP 316L, yang telah dipoles secara elektrolitik (Elektro-Polandia). Ini tahan korosi dan memiliki kekasaran permukaan yang rendah. Rmax (ketinggian puncak ke lembah maksimum) adalah sekitar 0,3μm atau kurang. Ia memiliki kerataan tertinggi dan tidak mudah membentuk arus pusaran mikro. Hapus partikel yang terkontaminasi. Gas reaksi yang digunakan dalam proses harus disalurkan pada tingkat ini.
Salah satunya adalah aKelas BA 316Lpipa, yang telah diolah dengan Bright Anneal dan sering digunakan untuk gas yang bersentuhan dengan chip tetapi tidak ikut serta dalam reaksi proses, seperti GN2 dan CDA. Salah satunya adalah pipa AP (Annealing & Picking), yang tidak diperlakukan secara khusus dan umumnya digunakan untuk pipa luar set ganda yang tidak digunakan sebagai jalur suplai gas.
04 Konstruksi pipa
Pengolahan mulut pipa merupakan salah satu poin penting dari teknologi konstruksi ini. Pemotongan dan prefabrikasi pipa dilakukan di lingkungan yang bersih, dan pada saat yang sama, dipastikan tidak ada bekas atau kerusakan berbahaya pada permukaan pipa sebelum pemotongan. Persiapan pembilasan nitrogen dalam pipa harus dilakukan sebelum pipa dibuka. Pada prinsipnya pengelasan digunakan untuk menyambung pipa transmisi dan distribusi gas dengan kemurnian tinggi dan kebersihan tinggi dengan aliran besar, tetapi pengelasan langsung tidak diperbolehkan. Sambungan casing harus digunakan, dan material pipa yang digunakan harus tidak mengalami perubahan struktur selama pengelasan. Jika bahan dengan kandungan karbon terlalu tinggi dilas, permeabilitas udara pada bagian pengelasan akan menyebabkan gas di dalam dan di luar pipa saling menembus, merusak kemurnian, kekeringan dan kebersihan gas pengangkut, yang akan mengakibatkan akibat yang serius. dan mempengaruhi kualitas produksi.
Singkatnya, untuk pipa transmisi gas dengan kemurnian tinggi dan gas khusus, harus digunakan pipa baja tahan karat dengan kemurnian tinggi yang diolah secara khusus, yang membuat sistem pipa dengan kemurnian tinggi (termasuk pipa, alat kelengkapan pipa, katup, VMB, VMP) menempati a misi penting dalam distribusi gas dengan kemurnian tinggi.
Waktu posting: 26 November 2024