As semikonduktorSeiring perkembangan teknologi mikroelektronika menuju kinerja dan integrasi yang lebih tinggi, persyaratan yang lebih tinggi ditempatkan pada kemurnian gas khusus elektronik. Teknologi perpipaan gas kemurnian tinggi merupakan bagian penting dari sistem pasokan gas kemurnian tinggi. Ini adalah teknologi kunci untuk mengirimkan gas kemurnian tinggi yang memenuhi persyaratan ke titik penggunaan gas sambil tetap mempertahankan kualitas yang memenuhi syarat.
Teknologi perpipaan kemurnian tinggi mencakup desain sistem yang tepat, pemilihan fitting pipa dan material pendukung, konstruksi dan instalasi, serta pengujian.
01 Konsep umum perpipaan transmisi gas
Semua gas dengan kemurnian dan kebersihan tinggi perlu diangkut ke titik terminal gas melalui pipa. Untuk memenuhi persyaratan kualitas proses gas, ketika indeks ekspor gas sudah pasti, sangat penting untuk memperhatikan pemilihan material dan kualitas konstruksi sistem perpipaan. Selain akurasi peralatan produksi atau pemurnian gas, hal ini sangat dipengaruhi oleh banyak faktor dari sistem perpipaan. Oleh karena itu, pemilihan pipa perlu mengikuti prinsip-prinsip industri pemurnian yang relevan dan mencantumkan material pipa pada gambar.
02. Pentingnya pipa gas dengan kemurnian tinggi dalam transportasi gas.
Pentingnya pipa gas berkemurnian tinggi dalam transportasi gas berkemurnian tinggi. Selama proses peleburan baja tahan karat, setiap ton dapat menyerap sekitar 200 g gas. Setelah baja tahan karat diproses, tidak hanya berbagai polutan yang menempel di permukaannya, tetapi juga sejumlah gas terserap ke dalam struktur logamnya. Ketika ada aliran udara yang melewati pipa, sebagian gas yang diserap oleh logam akan kembali masuk ke aliran udara dan mencemari gas murni.
Ketika aliran udara di dalam pipa terputus-putus, pipa tersebut membentuk adsorpsi tekanan pada gas yang melewatinya. Ketika aliran udara berhenti, gas yang teradsorpsi oleh pipa tersebut membentuk analisis penurunan tekanan, dan gas yang teradsorpsi tersebut juga masuk ke dalam gas murni di dalam pipa sebagai pengotor.
Pada saat yang sama, siklus adsorpsi dan analisis akan menyebabkan logam pada permukaan bagian dalam pipa menghasilkan sejumlah serbuk. Partikel debu logam ini juga mencemari gas murni di dalam pipa. Karakteristik pipa ini sangat penting. Untuk memastikan kemurnian gas yang diangkut, tidak hanya diperlukan permukaan bagian dalam pipa yang sangat halus, tetapi juga harus memiliki ketahanan aus yang tinggi.
Ketika gas memiliki sifat korosif yang kuat, pipa baja tahan karat yang tahan korosi harus digunakan untuk perpipaan. Jika tidak, bintik-bintik korosi akan muncul di permukaan bagian dalam pipa akibat korosi. Dalam kasus yang parah, potongan logam yang besar akan terkelupas atau bahkan berlubang, sehingga mencemari gas murni yang diangkut.
03Bahan pipa
Pemilihan material pipa perlu disesuaikan dengan kebutuhan penggunaan. Kualitas pipa umumnya diukur berdasarkan kekasaran permukaan bagian dalam pipa. Semakin rendah kekasarannya, semakin kecil kemungkinan pipa tersebut membawa partikel. Secara umum dibagi menjadi tiga jenis:
Salah satunya adalahPipa EP kelas 316L, yang telah dipoles secara elektrolitik (Electro-Polish). Permukaan ini tahan korosi dan memiliki kekasaran permukaan yang rendah. Rmax (ketinggian puncak ke lembah maksimum) sekitar 0,3μm atau kurang. Permukaan ini memiliki kerataan tertinggi dan tidak mudah membentuk arus eddy mikro. Singkirkan partikel yang terkontaminasi. Gas reaksi yang digunakan dalam proses harus dialirkan melalui pipa pada level ini.
Salah satunya adalahBA grade 316LPipa yang telah diberi perlakuan Bright Anneal sering digunakan untuk gas yang bersentuhan dengan chip tetapi tidak ikut serta dalam reaksi proses, seperti GN2 dan CDA. Ada juga pipa AP (Annealing & Picking), yang tidak diberi perlakuan khusus dan umumnya digunakan untuk pipa luar ganda yang tidak digunakan sebagai saluran pasokan gas.
04 Konstruksi pipa
Pemrosesan mulut pipa merupakan salah satu poin kunci dalam teknologi konstruksi ini. Pemotongan dan pra-fabrikasi pipa dilakukan di lingkungan yang bersih, dan pada saat yang sama, dipastikan tidak ada tanda atau kerusakan yang berbahaya pada permukaan pipa sebelum pemotongan. Persiapan untuk pembilasan nitrogen di dalam pipa harus dilakukan sebelum pipa dibuka. Pada prinsipnya, pengelasan digunakan untuk menghubungkan pipa transmisi dan distribusi gas dengan kemurnian dan kebersihan tinggi dengan aliran besar, tetapi pengelasan langsung tidak diperbolehkan. Sambungan selubung harus digunakan, dan material pipa yang digunakan harus tidak mengalami perubahan struktur selama pengelasan. Jika material dengan kandungan karbon terlalu tinggi dilas, permeabilitas udara pada bagian pengelasan akan menyebabkan gas di dalam dan di luar pipa saling menembus, merusak kemurnian, kekeringan, dan kebersihan gas yang dialirkan, yang akan menyebabkan konsekuensi serius dan memengaruhi kualitas produksi.
Singkatnya, untuk gas dengan kemurnian tinggi dan jalur pipa transmisi gas khusus, harus digunakan pipa baja tahan karat dengan kemurnian tinggi yang telah diolah secara khusus, yang menjadikan sistem jalur pipa dengan kemurnian tinggi (termasuk pipa, fitting pipa, katup, VMB, VMP) memiliki peran vital dalam distribusi gas dengan kemurnian tinggi.
Waktu posting: 26 November 2024