As semikonduktordan teknologi mikroelektronik berkembang ke arah kinerja yang lebih tinggi dan integrasi yang lebih tinggi, persyaratan yang lebih tinggi ditempatkan pada kemurnian gas khusus elektronik. Teknologi perpipaan gas dengan kemurnian tinggi merupakan bagian penting dari sistem pasokan gas dengan kemurnian tinggi. Ini adalah teknologi utama untuk menyalurkan gas dengan kemurnian tinggi yang memenuhi persyaratan ke titik penggunaan gas sambil tetap mempertahankan kualitas yang memenuhi syarat.
Teknologi perpipaan dengan kemurnian tinggi mencakup desain sistem yang benar, pemilihan alat penyambung pipa dan material pembantu, konstruksi dan pemasangan, serta pengujian.
01Konsep umum perpipaan transmisi gas
Semua gas dengan kemurnian dan kebersihan tinggi perlu diangkut ke titik gas terminal melalui jaringan pipa. Untuk memenuhi persyaratan kualitas proses gas, ketika indeks ekspor gas sudah pasti, lebih penting untuk memperhatikan pemilihan material dan kualitas konstruksi sistem perpipaan. Selain keakuratan peralatan produksi atau pemurnian gas, hal itu sebagian besar dipengaruhi oleh banyak faktor sistem perpipaan. Oleh karena itu, pemilihan pipa perlu mematuhi prinsip-prinsip industri pemurnian yang relevan dan menandai material pipa dalam gambar.
02Pentingnya pipa kemurnian tinggi dalam transportasi gas
Pentingnya jaringan pipa dengan kemurnian tinggi dalam transportasi gas dengan kemurnian tinggi Selama proses peleburan baja tahan karat, setiap ton dapat menyerap sekitar 200g gas. Setelah baja tahan karat diproses, tidak hanya berbagai polutan yang menempel di permukaannya, tetapi juga sejumlah gas diserap dalam kisi logamnya. Ketika ada aliran udara yang melewati jaringan pipa, bagian gas yang diserap oleh logam akan kembali masuk ke aliran udara dan mencemari gas murni.
Bila aliran udara dalam pipa terputus-putus, pipa membentuk penyerapan tekanan pada gas yang melewatinya. Bila aliran udara berhenti lewat, gas yang diserap oleh pipa membentuk analisis pengurangan tekanan, dan gas yang dianalisis juga memasuki gas murni dalam pipa sebagai pengotor.
Pada saat yang sama, siklus adsorpsi dan analisis akan menyebabkan logam pada permukaan bagian dalam pipa menghasilkan sejumlah bubuk. Partikel debu logam ini juga mencemari gas murni di dalam pipa. Karakteristik pipa ini sangat penting. Untuk memastikan kemurnian gas yang diangkut, tidak hanya diperlukan permukaan bagian dalam pipa yang sangat halus, tetapi juga harus memiliki ketahanan aus yang tinggi.
Bila gas memiliki sifat korosif yang kuat, pipa baja tahan karat yang tahan korosi harus digunakan untuk perpipaan. Jika tidak, bintik-bintik korosi akan muncul di permukaan bagian dalam pipa karena korosi. Dalam kasus yang parah, potongan logam besar akan terkelupas atau bahkan berlubang, sehingga mencemari gas murni yang diangkut.
03Bahan pipa
Pemilihan material pipa perlu dipilih sesuai dengan kebutuhan penggunaan. Kualitas pipa umumnya diukur berdasarkan kekasaran permukaan bagian dalam pipa. Semakin rendah kekasarannya, semakin kecil kemungkinan pipa tersebut membawa partikel. Secara umum dibagi menjadi tiga jenis:
Satu adalahPipa EP kelas 316L, yang telah dipoles secara elektrolitik (Electro-Polish). Tahan terhadap korosi dan memiliki kekasaran permukaan yang rendah. Rmax (ketinggian puncak ke lembah maksimum) sekitar 0,3μm atau kurang. Memiliki kerataan tertinggi dan tidak mudah membentuk arus mikro-eddy. Singkirkan partikel yang terkontaminasi. Gas reaksi yang digunakan dalam proses harus disalurkan pada level ini.
Yang satu adalahKelas BA 316Lpipa, yang telah diolah oleh Bright Anneal dan sering digunakan untuk gas yang bersentuhan dengan chip tetapi tidak berpartisipasi dalam reaksi proses, seperti GN2 dan CDA. Salah satunya adalah pipa AP (Annealing & Picking), yang tidak diolah secara khusus dan umumnya digunakan untuk set ganda pipa luar yang tidak digunakan sebagai jalur pasokan gas.
04 Konstruksi pipa
Pemrosesan mulut pipa merupakan salah satu poin penting dari teknologi konstruksi ini. Pemotongan dan prafabrikasi pipa dilakukan di lingkungan yang bersih, dan pada saat yang sama, dipastikan tidak ada tanda atau kerusakan yang berbahaya pada permukaan pipa sebelum pemotongan. Persiapan untuk pembilasan nitrogen dalam pipa harus dilakukan sebelum membuka pipa. Pada prinsipnya, pengelasan digunakan untuk menghubungkan pipa transmisi dan distribusi gas dengan kemurnian tinggi dan kebersihan tinggi dengan aliran besar, tetapi pengelasan langsung tidak diperbolehkan. Sambungan casing harus digunakan, dan material pipa yang digunakan diharuskan tidak mengalami perubahan struktur selama pengelasan. Jika material dengan kandungan karbon terlalu tinggi dilas, permeabilitas udara pada bagian pengelasan akan menyebabkan gas di dalam dan luar pipa saling menembus, merusak kemurnian, kekeringan, dan kebersihan gas pengangkut, yang akan menyebabkan konsekuensi serius dan memengaruhi kualitas produksi.
Singkatnya, untuk pipa transmisi gas dengan kemurnian tinggi dan gas khusus, pipa baja tahan karat dengan kemurnian tinggi yang dirawat secara khusus harus digunakan, yang membuat sistem pipa dengan kemurnian tinggi (termasuk jaringan pipa, alat penyambung pipa, katup, VMB, VMP) menempati misi penting dalam distribusi gas dengan kemurnian tinggi.
Waktu posting: 26-Nov-2024